匀胶机

发布日期: 2024-06-05    浏览次数: 来源:

KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性。KW4T型匀胶机有六个转速,转速及相应的时间分别可调。在甩2英寸以上样片时,启动后先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。在甩小样片时,启动后可直接用高速。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。适用于 4T 型中5至中100mm5型中100至中200mm硅片及其它材料等匀胶。

技术特点:

参数:全触摸屏控制

基片尺寸φ5-φ100mm圆片 大100x100mm2方片

转速:250-9000/

特点: 任意阶段之间均可任意升降调节

转速稳定度 lt;±1%,胶的均匀性<±1%

匀胶阶段:6

匀胶时间:每个阶段0-1800S可调

电机功率:40W

整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm

适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAsGaNInP等多种材料

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