KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性。KW4T型匀胶机有六个转速,转速及相应的时间分别可调。在甩2英寸以上样片时,启动后先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。在甩小样片时,启动后可直接用高速。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。适用于 4T 型中5至中100mm;5型中100至中200mm硅片及其它材料等匀胶。
技术特点:
参数:全触摸屏控制
基片尺寸φ5-φ100mm圆片 大100x100mm2方片
转速:250-9000转/分
特点: 任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定度 lt;±1%,胶的均匀性<±1%
匀胶阶段:6段
匀胶时间:每个阶段0-1800S可调
电机功率:40W
整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm
适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料
