PT 是面向高校科研以及企业研发客户使用需求设计的等离子处理系统，适用于等离子清洗、表面活化与等离子体刻蚀等多种应用。设备可在严苛环境下稳定运行，获得高度均匀的处理效果。PT 为紧凑的桌面小型等离子系统，易于安装与调试；可确保在不同产品、不同工艺间的快速转换；直观、高效的操作界面可以帮助使用者运行多种等离子工艺，并兼具强大的工艺菜单编辑、系统参数设定等功能，是一款经济高效，便于维护，操作便携、性能优秀的桌面小型等离子处理系统。PT系统主要由射频单元、真空/气体单元以及控制单元等构成，

技术特点：

供电要求 220VAC, 10A, 50Hz, Single Phase, 3 Wire

工艺气体要求 6mm 快插接口 / 15~30 psig

工艺气体种类及纯度 CF4 = 99.97%；02 = 99.996%； N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%；

系统尺寸 长*宽*高 380W x 480D x 500H mm

腔体 容积 4.5L

最大电极数量 1

电极功率电极有效面积 116W x 145D mm